“湾芯展”深度观察：国产半导体设备这一年，从“补空白”到“同台竞技”的华丽转身

10月14日至16日期间，2026湾区半导体产业生态博览会（简称“湾芯展”）在深圳盛大开幕。这场盛会不仅吸引了众多业内人士的目光，更成为新品发布、客户洽谈以及产业链深度对接的重要平台。

图片来源：徽声在线记者 孔泽思 摄

据徽声在线记者现场观察，过去一年里，国产半导体设备的发展势头迅猛，已远非“又多了几款新品”所能简单概括。

万里眼CEO刘桑在接受徽声在线记者采访时表示：“如今，越来越多的客户愿意将我们与国际同行放在同一水平线上进行比较，这无疑是一个令人振奋的转变。”这句话不仅反映了国产半导体设备地位的提升，也彰显了行业从“能否制造”向“能否竞争”的深刻变革。

头部企业：从填补空白到提升市场占有率

在半导体前道设备领域，离子注入机一直是一个国产化率较低的难题，与光刻机并列为国产化率最低的尖端设备之一。然而，华海清科（SH688120）在此次展会上推出的最新产品——中束流离子注入机IHQ-900E，却向这一难题发起了挑战。

据华海清科现场工作人员10月14日介绍，IHQ-900E历经一年研发，性能已超越国外同类产品。作为“国产首台性能超越国外竞品的中束流离子注入机”，其整机国产化率高达95.6%，预计到2027年将实现全面国产化。

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华海清科工作人员进一步解释，离子注入机具有高电压、高电流、强磁场且速度快的特点，对产品安全性的要求极高。IHQ-900E不仅补足了国产同类产品在角度控制等方面的短板，更在性能上实现了显著提升。目前，该产品正处于验证阶段，预计年内将实地应用于客户端，并具备与国外先进竞品正面竞争的实力。

与此同时，中微公司（SH688012）也在展会新品宣讲环节重点推介了两款高端半导体微观加工设备——Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀设备与Prefima Unicore™AM 12英寸ALD钼设备。其中，后者填补了公司在原子层沉积钼工艺领域的技术空白。

中微公司工作人员透露，公司已开发出54种刻蚀和薄膜产品，并在近几年大力布局薄膜相关产品，同时进军量检测设备领域。目前，公司的刻蚀产品已覆盖存储、先进封装等相关应用场景，薄膜相关产品也在一些先进制程方面实现了安装量。预计到2030年，公司将覆盖60%的高端设备市场，包括刻蚀设备、薄膜设备、量检测设备和湿法设备等。

中微公司还表示，计划在五年内开发出二十多种新的高端薄膜设备，以满足7纳米到3纳米及更先进逻辑器件，以及300层到500层以上及更先进存储器件的需求。

测试设备：从后道把关到研发前端参与

除了前道环节的突破外，测试环节也发生了深刻变化。

慧荣科技总经理苟嘉章在日前表示：“市场已经不可逆转地向前发展了，那些期待市场能够回到过去的人必须认识到这一点。”随着AI服务器和数据中心对存储产品需求的快速增长，全球主要存储原厂的产能和研发资源不断向高性能产品倾斜，NAND闪存、DRAM等产品供应持续紧张。他预计，2027年可能是存储供需最紧张的阶段之一，直到2028年原厂新增产能逐步释放后，市场才有望得到缓解。

存储市场的变化不仅推高了芯片价格，也带动了相关制造和测试设备的需求。精智达（SH688627）董事谢思遥在“湾芯展”上对徽声在线记者表示，今年1月和9月，公司分别获得了13.11亿元和15.76亿元的订单，这两笔订单金额合计已超过公司2025年营收的两倍。

然而，比订单更值得关注的是测试环节角色的转变。过去，测试设备更多被视为芯片制造完成后的质量把关环节；但随着HBM等高性能存储产品的加快迭代，芯片堆叠层数、数据传输速度和封装复杂度不断提高，测试设备不仅需要满足更高的精度和稳定性要求，还需要更早地参与产品研发与验证过程。

“近几年，随着产品技术复杂度的提升，测试已经逐渐贯穿从研发、工程验证到量产的全过程。”谢思遥说。对于国产测试设备企业而言，机会不仅在于下游客户扩大采购规模，更在于高端产品升级所释放的新需求。

谢思遥介绍，精智达正持续推进高性能存储芯片测试设备的研发工作，并将业务向GPU、CPU等算力芯片测试领域延伸，以适应AI芯片对高速信号处理、复杂工作环境及测试精度提出的新要求。

当然，挑战也同样明确。相比积累了数十年工程经验的国际设备企业，国内厂商需要在较短时间内完成产品研发、客户验证和规模化交付等任务。部分技术问题难以通过单次研发突破解决，而需要在实际应用中持续改进。“很多问题对于我们来说也是新的问题，我们将进一步联合产业链合作伙伴攻克各类技术难题。”谢思遥表示。

高端仪器厂商：从单款突破到多品类协同发展

在电子测量仪器这一长期由国际厂商主导的领域，变化同样显著。

在2025年“湾芯展”上，万里眼发布了新一代超高速实时示波器，其带宽突破90GHz，将国产示波器性能提升至原有水平的500%，打破了《瓦森纳协定》长达30年的技术封锁。

2026年10月14日，万里眼CEO刘桑在接受徽声在线记者采访时表示，这一年来行业有两个显著变化：一是万里眼的90G实时示波器瞄准计算芯片和高速互联领域（如网络交换芯片）进行研发，随着224G、112G等高速接口技术的规模化应用，国内客户对此类仪器的需求显著提升；二是很多客户愿意将万里眼和国际品牌放在同一水平线上进行比较，并在某种意义上更愿意给予国产厂商应用的机会，同时一起寻找新的价值点。

刘桑还表示，近期业界正热烈探讨先进制造业与先进生产力的发展。在未来产业和新兴产业中，AI下一代智能基础设施、6G、卫星通讯等是关键方向。

今年，万里眼已围绕这些领域取得了实质性成果：针对卫星通讯所需的高频率、高带宽需求，推出了信号源与频谱仪；针对AI计算中心的互联需求，推出了用于测试PCB、高速连接器和线缆的矢量网络分析仪。

国产高端仪器厂商从“单款突破”到“多品类协同”的转变，在万里眼身上得到了最为直观的体现。