突破国际封锁！我国MEMS射频计量技术实现全链条自主可控

5月12日最新消息，针对我国微机电系统（MEMS）领域长期存在的射频参数计量标准空白，以及信号完整性测试和可靠性研究能力薄弱等突出问题，国家市场监督管理总局近期牵头组织国内顶尖科研力量，集中攻关MEMS关键射频参数计量测试技术。经过持续努力，我国在MEMS介电常数精准测量、脉冲波形动态分析、光子链路高精度定位，以及电磁辐射环境适应性评估等核心参数的计量测试能力上实现重大突破，有效解决了MEMS器件从研发到应用全链条中的关键计量难题。

据项目负责人介绍，研究团队成功研制出五大类创新计量装置：包括具有自主知识产权的基材介电常数智能计量系统、太赫兹频段波形动态捕捉装置、光子链路三维定位参数分析仪、微互连结构电磁泄漏全频段辐射功率测试平台，以及微机电系统电接触可靠性综合测试系统。其中，太赫兹波形计量装置的动态范围指标达到国际领先水平，光子链路定位精度较传统方法提升3个数量级。基于这些技术成果，研究团队主导制定了《皮秒级快沿/脉冲发生器校准规范》《MEMS器件电磁兼容性测试方法》等3项国家计量技术规范，构建起覆盖设计、制造、应用全流程的MEMS质量保障体系。

目前，该技术成果已在三大战略领域实现产业化应用：在5G通信领域，支撑研发出具有自主知识产权的高选择性滤波器，使5G基站设备体积缩小40%；在光电集成领域，通过光子链路精准定位技术，将光模块故障诊断时间从小时级缩短至分钟级；在航空航天领域，微互连电磁泄漏测试装置保障了机载光网络系统的电磁兼容性。据权威机构评估，相关技术成果每年可为我国新一代信息技术产业创造超百亿元的经济效益，为突破国外技术封锁、实现产业链自主可控提供重要支撑。（央视新闻）