中微半导体尹志尧：18个月攻克150吨级设备 打破国外技术垄断
2026-05-22 19:09:15未知 作者:徽声在线
在央视财经《对话》节目中，被誉为"中国刻蚀机领域奠基人"的中微半导体设备（上海）股份有限公司掌舵人尹志尧披露了重大技术突破：2023年12月，中微正式进军超大尺寸平板显示设备制造领域，成功打破该领域17类关键工艺设备长期依赖进口的局面。据技术参数显示，这款自主研发的巨型设备重达150吨，占地面积达225平方米（长15米×宽15米），高度相当于两层半住宅楼。按照行业常规研发周期，此类设备的开发通常需要3至7年时间，但中微组建的跨学科攻坚团队仅用12个月就完成从概念设计到可运转样机的突破，随后在136天内实现设备性能迭代至客户下一代技术标准，最终用时18个月完成全流程验证并正式投入量产。尹志尧在访谈中强调："这标志着中国半导体装备制造业已具备自主研制全球顶尖设备的能力。"
