国产中高端光刻机批量订单落地，南方基金郑晓曦布局半导体国产化机遇

近期，国内半导体装备领域传来重大喜讯，一家本土企业自主研发的350nm步进投影光刻机成功通过了国内化合物半导体行业领军企业的全流程工艺验证，并迅速赢得了批量重复采购的订单。值得注意的是，从首台设备交付到获得批量订单，这一过程仅耗时短短9个月，彰显了国产半导体装备的快速崛起与强大竞争力。这款光刻机作为化合物半导体专用设备，其关键零部件及软件控制系统均实现了100%的国产化，稳定达到了350nm的分辨率标准，且能够兼容碳化硅、氮化镓、砷化镓等多种衬底材料，广泛应用于功率器件、射频前端、光电子芯片等生产线的制造中。此次批量交付，不仅标志着国产中高端光刻设备在第三代半导体量产线中的供给空白得到了有效填补，更为国产半导体装备的自主可控发展奠定了坚实基础。

在半导体产业链投资领域，南方基金的郑晓曦展现出了敏锐的洞察力。她所管理的南方信息创新混合基金，持仓策略聚焦于科技自立自强，根据其2026年度二季报显示，该基金的前十大重仓股中包括了精测电子、华海清科、华虹宏力等一批拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。此外，南方基金旗下的另一只产品——南方半导体产业股票基金，则深耕于半导体芯片产业，特别是光刻机模块领域。同样根据其2026年度二季报，该基金的前十大重仓股中涵盖了芯源微、波长光电等国产核心企业，进一步体现了南方基金在半导体产业投资上的深度布局与前瞻视野。

对于关注科技投资与半导体产业的投资者来说，南方信息创新混合基金（A 类：007490/C 类：007491）无疑是一个值得关注的选项。

同时，南方半导体产业股票发起基金（A 类：020553/C 类：020554）也提供了深耕半导体芯片产业，特别是光刻机模块领域的投资机会。