国产中高端光刻机批量获单，南方基金郑晓曦聚焦半导体国产化投资

近期，国内半导体装备领域传来重大喜讯，一家知名半导体装备企业凭借自身强大的研发实力，成功自主研发出350nm步进投影光刻机。这款光刻机顺利通过了国内化合物半导体领域头部客户极为严苛的全流程工艺验证，并且一举斩获批量重复采购订单。值得一提的是，从首台设备发运到收获批量订单，仅仅耗时9个月，这一速度充分彰显了国产半导体装备的强大竞争力与市场认可度。该设备聚焦于化合物半导体专用光刻设备环节，在关键零部件以及软件控制系统方面，均实现了100%的自主可控，具备极高的技术自主性。它能够稳定实现350nm分辨率，而且兼容碳化硅、氮化镓、砷化镓等多种衬底材料，应用场景十分广泛，主要服务于功率器件、射频前端、光电子芯片等产线的生产需求。此次该设备的批量交付，意义非凡，成功填补了第三代半导体量产线对国产中高端光刻设备的供给空白，为我国半导体产业的发展注入了强大动力。

在半导体产业蓬勃发展的当下，南方基金的郑晓曦始终密切关注着半导体产业链的投资机遇。她所管理的南方信息创新混合基金，持仓策略紧紧围绕科技自立自强这一核心主题。从该基金2026年度二季报的数据来看，其前十大重仓股中包含了精测电子、华海清科、华虹宏力等一批拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。这些企业在各自的细分领域深耕细作，凭借卓越的技术实力和创新能力，成为推动国产半导体产业发展的重要力量。另外，南方基金旗下的另一只产品——南方半导体产业股票基金，则专注于深耕半导体芯片产业，尤其在光刻机模块领域有着深入的研究与布局。其2026年度二季报显示，前十大重仓股中涵盖了芯源微、波长光电等国产核心企业，这些企业在光刻机模块的研发、生产等方面具有显著优势，为我国半导体产业的关键环节提供了有力支撑。

对于投资者而言，若对南方信息创新混合基金感兴趣，该基金设有A类（007490）和C类（007491）两种份额供选择，投资者可根据自身的投资需求和风险偏好进行合理配置。

同样，南方半导体产业股票发起基金也为投资者提供了参与半导体产业投资的机会，该基金同样设有A类（020553）和C类（020554）两种份额，方便投资者根据自身情况做出投资决策。