国产光刻机突破350nm技术壁垒 南方基金郑晓曦布局半导体全产业链

近期，国内半导体设备领域迎来一则振奋人心的消息：上海芯上微装科技股份有限公司成功实现技术突破，其自主研发的350纳米步进投影光刻机（型号AST6200）顺利通过国内化合物半导体行业领军企业的工艺验证，并获得批量重复采购订单。这款设备凭借高性能投影物镜系统与智能照明控制技术，在功率器件、射频前端模块、光电子芯片及Micro LED微显示等先进制程中展现出卓越的350纳米级高精度图案化能力，尤其在关键工艺稳定性、多场景适配性及核心软件自主化方面形成显著竞争优势，为国产光刻设备产业链补齐关键一环，有力推动化合物半导体制造装备的国产化替代进程。

在产业投资领域，南方基金权益投资部基金经理郑晓曦持续深耕半导体赛道。其管理的南方信息创新混合基金（A类007490/C类007491）以科技自主可控为核心策略，2026年二季度报告显示，前十大重仓股涵盖精测电子（半导体检测设备龙头）、华海清科（化学机械抛光设备领军者）、华虹宏力（特色工艺晶圆代工标杆）等具备核心技术壁垒的国产半导体企业。另一只专注半导体产业链的南方半导体产业股票发起基金（A类020553/C类020554）则重点布局光刻机产业链，二季度重仓股包括芯源微（涂胶显影设备全球供应商）、波长光电（精密光学组件制造商）等细分领域隐形冠军，形成从设备到零部件的全链条覆盖。

基金产品信息：南方信息创新混合（A类代码007490/C类代码007491）

基金产品信息：南方半导体产业股票发起（A类代码020553/C类代码020554）