光刻设备自主研发取得新进展，南方基金郑晓曦聚焦产业成长主线

近日，苏州极紫外半导体正式推出自研三束等离子体耦合 DPP 极紫外（13.5nm EUV）光源工程样机。该技术由哈工大 EUV 光源专家历经二十余年持续攻关，创新打造三束耦合发光架构，一方面规避海外 LPP 光源海量专利壁垒，另一方面攻克传统单束 DPP 方案功率不足、碎屑污染、稳定性欠佳等产业化难题，为国内高端光刻设备提供一条自主可控、具备成本优势且可落地的全新核心光源路线。光刻机是半导体产业链 “卡脖子” 关键环节，EUV 光源作为核心部件重要性突出。国内科研机构与科创企业持续开展底层技术攻坚，多路线并行推进光刻核心零部件研发，不断完善产业链技术储备。

南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度二季报显示，其前十大重仓股中包括精测电子、华海清科、华虹宏力等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度二季报显示，其前十大重仓股中包括芯源微、波长光电等国产核心企业。

南方信息创新混合（A 类：007490/C 类：007491）

南方半导体产业股票发起（A 类：020553/C 类：020554）