华海清科Master-P510APEX：国内首台全自动板级CMP装备量产新突破

徽声在线6月9日消息，来自华海清科的最新动态显示，近期，华海清科凭借其强大的自主研发能力，成功推出了国内首台尺寸为510*515mm的全自动板级CMP量产装备——Master-P510APEX。这一创新成果不仅彰显了华海清科在半导体设备领域的深厚实力，更赢得了先进封装领域一家重要客户的青睐，成功斩获订单。按照计划，该装备将很快进入客户端生产线，正式投入量产应用阶段。

华海清科方面表示，Master-P510APEX的量产应用，标志着国内首台国产全自动板级CMP装备正式迈入产线，这一突破对于我国先进封装乃至整个半导体产业的自主可控发展具有重大意义。它不仅补齐了我国半导体产业链中的关键一环，更为提升我国半导体产业的国际竞争力奠定了坚实基础。

此外，此次Master-P510APEX的成功研发与量产，也是华海清科在CMP装备技术领域的一次重要跨越。从晶圆级到板级的延伸，不仅展现了华海清科在技术创新方面的敏锐洞察力和强大执行力，更为其未来在半导体设备市场的进一步拓展提供了有力支撑。