化合物半导体工艺迎新突破，南方基金郑晓曦布局半导体投资机遇

近期，九峰山实验室在化合物半导体领域取得了关键工艺的重大进展。该实验室的化合物半导体中试平台与国产原子层沉积（ALD）设备厂商紧密合作，共同攻克了ALD Mo工艺的技术难题。此次突破以稳定且高效的MoCl₂O₂原料作为前驱体，在400℃的条件下成功制备出了高性能的金属钼薄膜。值得一提的是，这是国内首次在8英寸平台上实现该工艺的开发，标志着我国在化合物半导体根技术领域迈出了坚实的一步。该工艺在电阻率、均匀性以及台阶覆盖率等核心指标上均达到了量产标准，为提升化合物半导体器件的性能提供了坚实的底层支撑，同时也为国产设备与自主工艺的协同创新树立了典范。

在半导体产业链的投资领域，南方基金的郑晓曦展现出了敏锐的洞察力。她所管理的南方信息创新混合基金，持仓重点聚焦于科技自立自强的方向。根据该基金2026年度的一季报数据，其前十大重仓股中涵盖了拓荆科技、北方华创、中微公司等一批在国产半导体产业链中具有领先技术的龙头企业。此外，南方基金的另一只产品——南方半导体产业股票基金，则深耕于半导体芯片产业，特别是光刻机模块领域。同样根据其2026年度的一季报，该基金的前十大重仓股中包括了奥普光电、茂莱光学等国产核心企业，彰显了其在半导体产业投资上的深厚底蕴。

对于关注半导体产业投资的投资者来说，南方信息创新混合基金（A 类：007490 / C 类：007491）无疑是一个值得考虑的选择。

同时，南方半导体产业股票发起基金（A 类：020553 / C 类：020554）也提供了深耕半导体芯片产业的投资机会，特别是针对光刻机模块等关键领域。