北方华创Acme Glaion130：12英寸气体团簇离子束刻蚀新设备问世

据《科创板日报》2日最新消息，近日，国内半导体设备领域的领军企业北方华创，成功推出了其全新研发的12英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备——Acme Glaion130。这款设备在技术上实现了重大突破，成功攻克了三大核心技术难题，不仅展现了北方华创在半导体设备制造领域的深厚实力，更为我国先进逻辑芯片、存储芯片、封装技术、硅光芯片以及AR/VR等前沿应用场景的发展提供了强有力的设备支持。