国产光刻工艺新突破，南方基金郑晓曦精准捕捉半导体投资机遇

近期，沈阳芯源微电子设备股份有限公司在半导体技术领域取得重要进展，成功申请了一项名为“一种解决12寸BARC类工艺薄胶边缘风纹的涂胶方法”的专利技术。据专利摘要介绍，该技术聚焦于12寸BARC类工艺中薄胶边缘易出现风纹的难题，通过创新性地调整晶圆预湿处理溶剂，选用OK73作为预湿处理液，并精准控制晶圆甩干转速V2与甩干时间T2，从而有效调控晶圆表面残留的OK73溶液量。实验表明，残留溶液量与膜厚成反比，即残留越多，膜厚越薄。在此条件下，涂胶主转速可稳定控制在2000rpm以下，避免了高速旋转导致的边缘风流过强问题，成功解决了薄胶边缘风纹的技术瓶颈，同时满足了薄胶涂覆的工艺要求。值得一提的是，该技术无需对现有设备进行任何改造，仅通过优化涂胶工艺配方与操作步骤即可实现，具有极高的实用性与可操作性。长远来看，这一涂胶工艺专利的落地实施，有望进一步完善国产半导体涂胶设备的配套工艺体系，为光刻设备产业链的本土化发展注入强劲动力。

在半导体产业链投资领域，南方基金的郑晓曦展现出了敏锐的洞察力与独到的投资眼光。她所管理的南方信息创新混合基金，持仓布局紧密围绕科技自立自强的主题，根据2026年度一季报数据显示，其前十大重仓股中不乏拓荆科技、北方华创、中微公司等在国产半导体产业链中占据领先地位的龙头企业。此外，她另一只专注半导体芯片产业的基金——南方半导体产业股票，更是将投资重心放在了光刻机模块这一关键领域。同样根据2026年度一季报，该基金前十大重仓股中包含了奥普光电、茂莱光学等国产核心企业，彰显了其在半导体产业链投资上的深度与广度。

对于有意投资南方信息创新混合的投资者而言，该基金提供了A类（代码：007490）与C类（代码：007491）两种份额选择，以满足不同投资者的需求。

同样，南方半导体产业股票发起也提供了A类（代码：020553）与C类（代码：020554）两种份额，为投资者提供了更加灵活的投资方式。