国产半导体设备迎“大规模量产替代”契机，南方基金郑晓曦掘金行业成长红利

在当前科技浪潮中，AI技术的迅猛发展正推动着先进逻辑芯片不断升级，同时HBM（高带宽存储）技术的兴起也催热了先进封装领域，再加上存储芯片市场的扩产热潮，这三大产业趋势正交汇融合，为国产半导体设备带来了前所未有的发展机遇。作为国产半导体薄膜沉积领域的佼佼者，微导纳米在此背景下集中展示了其面向逻辑芯片、存储芯片以及先进封装等多个领域的全系列薄膜沉积产品，充分展现了国产设备在核心赛道上的技术突破与产业化进程的加速。

薄膜沉积设备作为半导体制造过程中的关键环节，其性能直接决定了芯片的整体性能与生产良率。长期以来，这一领域一直被海外企业所主导。然而，微导纳米此次推出的新一代iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积设备，采用了独特的Thunder Balance®技术，实现了射频效果的毫秒级精准切换。在薄膜均匀性、致密性以及颗粒控制等关键指标上，该设备均达到了国际先进水平，能够满足逻辑芯片关键界面层与阻挡层的严苛制造要求，为国产薄膜沉积设备迈向“大规模量产替代”时代提供了有力的核心设备支撑。

南方基金的郑晓曦对半导体产业链的投资机遇保持着高度关注。她所管理的南方信息创新混合基金，持仓重点聚焦于科技自立自强领域。根据该基金2026年度一季报显示，其前十大重仓股中包括了拓荆科技等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。此外，她的另一只产品南方半导体产业股票基金则深耕于半导体芯片产业，特别是光刻机模块领域。同样根据其2026年度一季报，该基金的前十大重仓股中涵盖了奥普光电、茂莱光学等国产核心企业，展现了其在半导体领域的深入布局与独到眼光。

对于投资者而言，南方信息创新混合基金（A 类：007490/C 类：007491）以及南方半导体产业股票发起基金（A 类：020553/C 类：020554）无疑是值得关注的投资选择，它们有望为投资者捕捉半导体产业链的成长机遇。